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关于白光干涉仪原理、用途以及应用要求的分析

点击次数:446 发布时间:2019-09-09
 白光干涉仪原理:
白光干涉仪也叫迈克尔逊干涉仪,是用于对各种精密器件表面进行纳米级测量的仪器,它是以白光干涉技术为原理,光源发出的光经过扩束准直后经分光棱镜后分成两束,一束经被测表面反射回来,另外一束光经参考镜反射,两束反射光终汇聚并发生干涉,显微镜将被测表面的形貌特征转化为干涉条纹信号,通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌。
专用于非接触式快速测量,精密零部件之重点部位的表面粗糙度、微小形貌轮廓及尺寸,其测量精度可以达到纳米级!目前,在3D测量领域,白光干涉仪是精度zui高的测量仪器之一。
 
白光干涉仪对所测样品的尺寸有何要求?
答:白光干涉仪载物台xy行程为140*110mm(可扩展),Z向测量范围大可达10mm,但由于白光干涉仪单次测量区域比较小(以10X镜头为例,在1mm左右),因而在测量大尺寸的样品时,全检的方式需要进行拼接测量,检测效率会比较低,建议寻找样品表 面的特征位置或抽取若干区域进行抽点检测,以单点或多点反映整个面的粗糙度参数;
 

该仪器所测的样品一般都具备哪些特征,主要检测哪些参数,检测方式如何?
答:电子消费品领域,由于测量的多为玻璃制表面,因而多具备透明度高、超光滑(粗糙度多在1nm以下)这两个特征,检测方式上一般都采用从生产的批量中抽检部分,再在样品上抽取一大概的特定区域进行检测,主要检测的是器件的表面粗糙度,其次为台阶高,曲率半径参数也会检测,但不是主要需求参数;
 
半导体封装领域主要是检测硅片的表面粗糙度,也是采用从批量硅片中抽若干片进行检测的方式进行,在抽检的硅片上抽点进行检测,主要需求参数为粗糙度,其次为台阶高;
 
产品用途:
结合光学显微镜与白光干涉仪功能的扫描式白光干涉显微镜,结合显微物镜与干涉仪、不需要复杂光调整程序,兼顾体积小、纳米分辨率、易学易用等优点,可提供垂直扫描高度达400um的微三维测量,适合各种材料与微组件表面特征和微尺寸检测。应用领域包含:玻璃镜片、镀膜表面、晶圆、光碟/影碟、精密微机电元件、平面液晶显示器、高密度线路印刷电路板、IC封装、材料分析与微表面研究等。
 
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